台灣半導體產業自二十多年前工研院電子所成功轉移RCA之半導體製程技術後，才正式邁開腳步。後來工研院、中科院等單位，都陸續投入半導體製程設備的研發行列。民國八十四年，政府擬規劃建立「亞太營運中心」，其中「亞太製造中心」更是發展重點。經濟部則為促進國內精密機械工業之發展，使台灣成為亞太地區精密機械工業之製造、研發及營運中心，特依據民國八十四年七月三日，行政院核定之「發展台灣成為亞太製造中心推動計畫」設立「精密機械工業發展推動小組」(以下簡稱「精密機械小組」)。
#P#初期發展人才缺乏、定位不清
精密機械小組從民國八十五年七月一日開始運作，發展初期人才相當缺乏，定位不清。精密機械小組前主任楊肇福表示，由於精密機械小組層級不明，在協調時容易遭逢困難。以航太小組來說，由於後來被劃分為行政院專責的層次，才有不少具體的成果表現。反觀精密機械小組，雖然隸屬於經濟部，但楊肇福卻自嘲像是「孤兒」。「經濟部有工業局、國貿局兩個單位。而國貿局之下還有外貿協會。外貿協會不但有大樓、有展覽館，還可以賺很多錢。不過，一個國家沒了國際貿易仍然可以生存，但是沒有產業，勢必無法生存。」
#P#精密機械小組功能與任務
楊肇福表示，政府規劃包括半導體、精密機械等產業為「十大信心工業」，並成立五大推動小組。精密機械小組就是其中之一。精密機械小組還包括半導體製程設備、精密工具機暨關鍵零組件、醫療保健器材以及高科技環保設備等四個專案室。在半導體製程設備專案室中，主要推動項目包括半導體前段設備(蝕刻製程設備、沉積製程設備、微影製程設備、熱製程設備、清洗設備及服務)、半導體後段設備、設備零組件、廠務設備及檢測設備等。楊肇福表示，國內每年仍有上千億元的半導體製程設備由國外進口，顯見國內半導體設備產業的確大有可為。除了IC產業之外，未來包括液晶顯示器(LCD)、微機電(MEMS)都將是機械小組未來的發展重點。
楊肇福認為，台灣的半導體製造廠商不應過度依賴國外設備供應商。他指出，國際半導體設備供應商幾近「壟斷」國內半導體設備市場，IC產業的領導廠商應該有決心要幫助政府來扶植國內的半導體製程設備產業。去年發生九二一地震時，由於曾一度造成石英爐管缺貨，在國外供應商來不及支援的狀況下，大部份半導體製造商轉而使用國內半導體材料供應商的產品。以往國內廠商對於「國產品」較沒有信心，在遭逢突發事件的影響下，國內廠商也慢慢體認到其實有部份國內供應商的產品還是相當優秀。
楊肇福表示，從接任精密機械小組主任之後，都逐步在學習、摸索。精密機械小組還聘請台灣大學應用力學研究所的教授擔任顧問。楊肇福過去在美國曾經做過半導體設備的翻修工作。他觀察到，目前全球幾個較大的半導體設備供應商雖然都有很多不同的設備。不過他們賴以「起家」的產品，到目前都還是他們最專精的產品。
#P#本土半導體產業應發展精華設備
楊肇福在擔任文化大學機械系主任的期間，曾大聲疾呼學界應該要投入發展半導體製程設備。楊肇福表示，半導體產業之中，包括：前段、後段、測試封裝以及廠房等四個領域。在前段製程設備中投入的資金是最多的，約為測試設備的三倍。而測試設備投入的資金又為後段製程設備的三倍。在半導體前段製程設備中，CVD(化學氣相沉積)、蝕刻(Etching)算是核心設備。因此，他建議國內應該可以從研發這兩項設備做起。他認為，國內有些研究機構所研發的設備，不是跟民間科專計畫發展的設備衝突，就是只發展週邊的工具。「既然拿了政府這麼多錢，就應該要做精華的、別人不能做到的設備，才具有潛力及商業性。」錢沒有花在刀口上，讓曾經指導過部份單位發展半導體設備的楊肇福有點失望。楊肇福認為，擁有許多人力、資本及技術資源的工研院應該要加緊發展半導體設備的腳步。而精密機械小組歷來也相當關切國內半導體製程設備業者與國外廠商聯盟的狀況，目前除了已經促成晶研科技與Tegal的聯盟外，陸續將促成其他國內廠商與國外大廠的合作。
#F#發展台灣成為亞太製造中心推動計畫設立「精密機械工業發展推動小組」前主任楊肇福。
#P#拉近供應商與製造商的距離
精密機械小組多年來為了主動媒合國內半導體產業製造商與本土設備供應商，舉辦了多次半導體製程設備發展趨勢研討會，總是吸引上百人次參與。由於國內半導體製程設備供應市場，向來是國外大廠的天下，本土設備供應商的生存空間被壓縮。從八十七年11月舉辦第一次本土半導體設備廠商技術趨勢研討會至今，陸續邀請過台灣積體電路、聯華電子、旺宏電子、台灣茂矽電子等國內多家半導體製造業者，共同來分享本土半導體設備產業的研發成果。楊肇福表示，有許多製造商參與研討會之後，才「驚豔」國內半導製程設備業者的產品表現。
不過，最令國內的業者疑慮的是，本土設備的產品性能(performance)是否能與國外大廠的設備性能齊等。曾有國內設備供應業者呼籲，相關單位應建立設備驗證的公準中心，但楊肇福認為，設備供應商應該實際讓客戶驗證過後，即時發現缺點加以改正，也能增進與客戶間的互動。以使用者直接驗證供應商設備機台的方式，來取代驗證中心的測試。楊肇福說，建置驗證中心也有其困難，除了人才的募集之外，同樣需要一套標準的設備來當做驗證的工具。「政府公設的驗證中心，測試完的機台不表示就有廠商敢用！」因此，透過公設驗證中心並不能實際解決問題，唯有製造廠商對本土設備供應商的機台有信心，才能真正讓本土設備商有更大的生存空間。
#P#精密機械小組主任換人做做看
「等到這篇文章刊出來的時候，我人已經在美國了！」楊肇福笑著說。由於楊肇福今年六月底就卸下精密機械小組主任的職務，目前遺缺將由副主任孫德銓暫代。由於新政府上任之後的預算問題，精密機械小組組織架構可能會有些變動。楊肇福表示，他目前已經向經濟部提出三個人選，最快在七月底就能有繼任人選出線。而以精密機械小組四個專案室約十三名人力的狀況下，面對愈加繁重的業務，已經有使不上力的感覺。精密機械小組目前已經有擴編組織計畫，不過，一切都還得看行政院的預算而定。楊肇福進一步表示，陳水扁總統有建立「綠色矽島」的雄心壯志，他希望這項承諾不會跳票！但是他將會抽空向阿扁總統提出建言，希望不論是精密機械小組，或是國內其他研發單位，都能整合力量，共同為發展國內高科技產業而努力。「我卸任之後，等於是退而不休！還是會為國內半導體產業的發展而努力。」