ASML和Carl Zeiss表示，同意以交叉授權的方式，將半導體微影及光學元件的專利授予專利Canon，而這也意味它們將可運用彼此的技術，觸及對方的微影設備市場。

ASML和Zeiss表示，此交叉授權不涉及技術轉讓問題，將可幫助三方在技術領域裡「自由競爭」，並不只是知識產權的權利。而他們也將繼續投資研發，並建立自己的技術和IP。