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STEAG完成AG併購;在RTP主要廠商的結合運作
跨國的半導體製造系統的供應商STEAG Electronic Systems GmbH,宣佈完成在加州San Jose AG公司併購,其為是由快速熱處理(RTP)設備的主要供應商。
STEAG將結合AG的業務與其STEAG AST RTP事業,組成STEAG RTP系統。STEAG Electronic System的董事長Dr.Hans-Georg Betz表示,STEAG將成為全世界RTP的頂尖供應商之一,因為在先進半導體量產中,快速熱處理的技術越來越重要。
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