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X-ray檢視系統

   日期：2005/4/14   來源：半導體科技    

WBI-FOX符合200mm與300mm晶圓的自動化標準，擁有訂做的操控系統來避免人與晶圓接觸的介面，可調變的參數使其適用於特定的晶圓特性，且可總結檢視結果於預先定義的報告格式中。TXI操控裝置為即時檢視提供穩定的影像品質。
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