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   日期：2005/4/14   來源：半導體科技    

3D微影系統結合AltaSpray塗佈機－關於非平坦表面上厚達數百微米的保角層－與LEGO來提供大景深(depth-of-focus)的成像。AltaSpray阻劑沉積使用申請專利中的霧化技術，能夠在平坦以及陡峭斜面形成保角的披覆層。LEGO是被設計用於在頂部和底部以及沿結構斜面上精準定義大深度的區域的光學系統。此系統能應用於3D封裝、3D架線、先進MEMS以及其他技術上。