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   日期：2005/4/14   來源：半導體科技    

LIQUOZON Smart臭氧水供應系統提供超純臭氧水(DIO3)，使用於IC與薄膜製程中的晶圓與基板清潔。此獨立完備的系統可生產臭氧水，可消去化學品儲存量，提供較小的佔地面積，而且較少的氣體與臭氧水消耗。此系統並不產生NOx，此為污染來源與對金屬piping的可能威脅，而且未分解的殘餘臭氧在釋放至排氣端之前被轉換還原成氧氣。平均無故障時間據報導>20,000小時。