每小時產率大於60片基板的PECVD系統
AKT-40K 電漿輔助化學氣相沉積系統(PECVD)使用於製造第七代(1800×2200mm2 class)薄膜電晶體液晶顯示器(TFT-LCD)面板，此面板主要供應給大尺寸、高解析度之平板電視。據報導，在依據第四代系統為標準的比較基礎下，此系統在NF3消耗方面提供30% 的縮減。一種新的load lock設計，自動化傳輸，與軟體修改可以增進生產率。在沉積單層膜的應用上，擁有每小時大於60片基板的產率。此系統也可以讓基板在不出真空環境的情況下，沉積摻雜與非摻雜的非晶矽、氧化矽、氮氧化矽與氮化矽等多層膜。