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光學關鍵線寬量測工具提供線上電晶體控制

   日期：2005/4/14   來源：半導體科技    

SpectraCD 100使用反射式光學系統且含蓋190–800奈米連續波長範圍之寬頻光譜橢圓儀來偵測需要極端靈敏度的製程問題；如閘極結構中阻劑的footer。此系統的新3D模型化能力可用於接觸洞的測量，而且可以監測種種前段各層，包括DRAM閘極，雙層阻劑，階梯高度，深塹渠，以及CMP層。
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