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   日期：2005/4/14   來源：半導體科技    

ELS-7010氟化氪(KrF)準分子光源被設計應用於248nm波長之量產微影技術。擁有40W 光學輸出功率與4kHz脈衝重複率，此系統藉由<0.35pm半高波寬的線窄頻寬與<1.2pm的95%能量累積範圍來呈現高等級的光譜性能。據報導此光源是以可變能量與重複率操作(VERRO)為特色，用以增進製程寬容度，顯微鏡下注射來使停工期減到最小，以及波長穩定性的高準確調控技術。