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Amberwave Systems 材料研發應為綠世界獻心力

 作者:文 / 于嘉言  日期:2008/11/25   來源:半導體科技    

先進半導體製造技術研發解決方案供應商AmberWave Systems,以其獨到的企業模式,多年來在半導體產業內提供各式各項材料科學應用方案。AmberWave Systems行銷暨業務開發副總裁Wade Sheen表示,因應產業界中綠色、環保需求,AmberWave Systems的材料科學發展也將為「綠世界」(Green World)貢獻心力。

AmberWave Systems現有25位員工,研發技術範圍包括先進CMOS技術、雷射、太陽能電池、發光二極體等等。AmberWave Systems不但協助大學研究,也透過與其他合作對象或研發機構攜手合作,開發先進材料技術。AmberWave Systems的材料研究科學多年來獲得專利或正在申請專利的技術超過200件。AmberWave採用授權智慧財產(IP)的商業模式,並提供製造服務與技術支援服務,讓授權公司可將AmberWave Systems的技術運用於先進製程中。

Sheen表示,AmberWave有幾項關鍵性整合技術包括為太陽電池使用的矽鍺漸變緩衝(SiGe graded buffers)、應變矽、Aspect Ratio Trapping、氮化鎵層壓板(laminate)材料、太陽電池用三五族層壓板等等。1998年AmberWave Systems從美國麻省理工學院獨立出來,將所研發的矽鍺化合物技術SiGe graded buffers商業化推廣至半導體產業。

AmberWave Systems的第一項研究計畫為應變矽(strained-Si),可於矽晶片內提升速度但減少耗能。應變矽可展開或伸張矽的分子晶格,因此減少電阻、增加載荷的流動性。英特爾曾運用AmberWave的應變矽技術於其90奈米製程中。Sheen表示,對於現今許多導入高K閘極介電質的半導體公司來說,如何加速介電質在矽通道中的速度,就需要透過更多的應變矽。多年前,聯華電子曾採用AmberWave Systems的應變矽技術,大幅提升CMOS效能。聯華電子利用AmberWave系統公司的基材建構矽晶圓技術,開發出新的應變矽技術。此製程的主要目的是要強化CMOS的性能,此可提高70nm應變矽電晶體的電流驅動能力超過20%。

Sheen表示,AmberWave也正嘗試將鍺、砷化鎵、磷化銦,以及銻化銦等材料導入,最終希望能在CMOS製程中對關鍵性電晶體的通道的矽給取代掉。AmberWave Systems有另一項稱為Aspect Ratio Trapping(ART)的技術,此技術可以使晶片效能更快速、更強大,並擴展晶片應用的範圍,將上述所提及的化合物導入CMOS製程。Sheen表示,不論是在矽技術或是太陽能電池上,ART技術都可以有所表現。

近期,AmberWave System購併了Aonex Technokogies,及其由加州理工學院(Caltech)開發的材料合成技術。Aonex Technologies業務為將生命科學、電子學和能源學中的最新科技以商業化使用。Aonex創始人之一在材料合成和先進積層狀化合物半導體材料更有相當深厚的研發功力。Aonex更持續研發與太陽能及先進雷射產品相關的材料,並證實積層狀半導體材料於高效率光電設備中的可用性。Sheen表示,併購Aonex後,可望為AmberWave帶來在積層狀材料與先進半導體合成技術能力上的互補。對於爾後AmberWave進軍太陽能與光電市場將有助益。 SST-AP/Taiwan


AmberWave Systems行銷暨業務開發副總裁Wade Sheen
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