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志尚儀器 專業代理半導體氣體分析儀器

 作者：文/陳晉暉  日期：2008/11/19   來源：    

志尚儀器成立於民國79年，一向以朝專業氣體分析儀器設備代理商努力，成立至今獲得不少客戶的信任，產品共分為半導體相關儀器設備及工安環保監測儀器兩個部門，近年來為追求服務品質的提升，於2008年成立了獲ISO 17025認證的氣體流量校正及偵測器校正實驗室，更預計於2008年年底以前申請相關ISO 17025微污染分析實驗室認證。志尚儀器總經理楊玉山認為，今年半導體市場普遍不景氣，因此成本下降(cost down)議題將越顯重要，志尚也將在此部分多加努力，以滿足顧客的需求。

在半導體相關儀器設備方面，志尚儀器目前主要代理有Molecular Analysis的離子電泳光譜分析儀(IMS Analyzer)、美國Picarro公司的Ammonia/HCl/HF/Moisture/CO/CO2/Methane分析儀(CRDS技術)、西班牙SIR公司的SO2-TS-H2S & NH3-NO-NOx分析儀、美國Extrel公司Bulk/RGA氣體分析儀暨TVOC/THC(總揮發性有機氣體)分析儀、美國Ametek-Trace Analytical公司的Bulk Gases Analyzer、美國Illinois公司所生產的微氧氣體分析儀以及美國Donaldson公司所生產的各類型用於Photo/Etching/Diffusion等製程機台以及廠務FFU/MAU上過濾不同Base/Acid/Organic Gases的低風阻Chemical Filter，日前更針對廠務的儀用空氣及氮氣管線提供POU(Point Of Use Filter)過濾器。

而在工安環保監測儀器部分，志尚儀器主要代理歐美相關廠家各類攜帶式與固定式氣體偵測器，如歐洲大廠Honeywell-Sieger & Lumidor相關氣體偵測器、西班牙SIR大氣環境監測系統、MA公司NDIR氣體分析儀、加拿大G.A.S. LNG/LPG線上分析儀、美國Ametek Trace Analytical公司RGA/BULK Gases分析儀、美國Extrel公司線上型質譜儀、美國AVIR開徑式 NDIR分析儀、義大利ETG公司相關製程煙道分析儀、美國AP BUCK個人氣體採樣及校正系統、世界唯一乾式氣體流量校正器—美國BIOS公司。

除了積極代理國外專業設備儀器外，為因應工安、環保及其他相關行業使用氣體流量計之客戶及市場需求，志尚儀器於2006年底成立校正實驗室，並於2007年初著手準備KH1001微量氣體流量校正系統之建置及評估作業，並於2008年正式獲得TAF頒發之ISO 17025校正實驗室認可証書，TAF認證編號為1936。此校正實驗室為一獨立之作業空間，設有恆溫及恆濕之空調系統，環境溫度控制在23℃ ± 2℃，環境相對濕度則維持於50% ± 10%，所採用之氣體流量校正標準系統係美國DHI公司之Molbloc層流元件(Laminar Flow Element)及流量顯示器(Molbox1)，Molbloc/Molbox1的量測設計是建立在流體力學及氣體熱力學的基礎上，以其先進的壓力量測技術基礎及氣體層流特性公式的推導配合精密的加工製程 完成了高穩定、高精度的流量轉換元件，並得到了美國及國際專利的授權。

楊玉山表示，實驗室建置之微量氣體流量校正標準系統每年定期與國家流量標準實驗室進行比對校正，以維持高品質之服務水準，提供之校正服務範圍從5 cm3至20 dm3，待校件之類型包含熱質式流量計、活塞管式流量計及皂泡式流量計。實驗室將秉持著志尚儀器一貫之「專業服務、顧客至上」之謹慎態度為顧客提供校正之專業服務。SST-AP/Taiwan


志尚儀器總經理楊玉山。


志尚代理美國PMS公司的半導體製程氣體分析儀。(AirSentry Ⅱ Point- Of-Use IMS)
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