Air Products擴充台灣地區N2O產能可滿足亞洲區半導體及平面顯示器成長需求
Air Products透過其子公司三福氣體股份有限公司(Air Products三福)擴充其在台灣南科廠的一氧化二氮(N2O)產能，以滿足亞洲地區快速成長中的半導體與薄膜電晶體液晶顯示器(TFT-LCD)的市場需求。已於今年初開始運作的產能，大幅增加N2O產能一倍，且生產的高純度N2O亦更能符合現有及未來客戶的需求。
最新擴充的產能使用Air Products現有技術。不僅在生產用原料的供應上維持不變，南科廠也會承襲Air Products一貫的嚴謹態度，嚴格執行製程線上監測以及完善的產品分析。一氧化二氮(N2O)與矽甲烷(silane)共同用於氮化矽層的化學氣相沉積，氮化矽層的主要作用則是鈍化、遮罩或隔離。另一項主要應用則是熔融石英玻璃(FSG)的電漿沉積，可供作為相鄰金屬線之間的低介電隔離薄膜。
Air Products全球電子部副總裁Corning Painter表示，這一波的產能擴充不僅是我們實現對客戶承諾的最佳明證，更是我們持續成為全球電子產業特殊氣體領導供應商的決心展現。我們將繼續運用全球化供應能力以及完整的產品陣容，成為業內最可靠的供應商。
Air Products為全球工業製造、能源、科技和醫療等領域的客戶提供一系列產品、服務及解決方案，包括大宗氣體、製程和特殊氣體、功能材料及設備及服務。創立於1940年，業務遍及40多個國家，年營業額90億美元，在全球員工人數超過20, 000名。SST-AP/Taiwan