ESI發表全球第一部多光束紅外線雷射系統9850
大幅提升高階記憶體修補產出
文/于嘉言 生產微細工程應用雷射系統供應商ESI, Inc.(美商電子科學工業有限公司)，日前宣佈他們對於動態隨機存取記憶體(DRAM)以及NAND型快閃記憶體(NAND Flash Memory)應用所開發的新機種9850雙光束紅外線(IR)雷射修補系統及其利用性。9850利用自單管雷射中的雙光束創新構造，開啟業界中第一個並行處理的能力。與傳統的雷射修補系統相比，此項新穎的處理方法可讓潛在的總處理量提升90%，並以提供為佳的生產率來改善擁有成本，以及不會增加因維護及佔地需求所產生的成本。ESI開發此項獨特的雷射構造以符合對於尖端DRAM裝置日益增加的需求與增溫。 ESI的9850雙光束雷射系統，利用最先進的紅外線雷射科技，達成精確、可信度及擁有成本優勢。ESI表示，目前記憶體製造業者可以佈署一項由業界認可的平台所進化而來的新穎且獨特的加工方式。它的新式光束定位策略，可提供高速處理多重金屬連線的能力，而9850也代表第一代的ESI多光束加工系統，並且將會更進一步的加強，為ESI客戶在生產率及良率中帶來顯著的改善。 9850為全球第一個多光束傳遞雷射修補系統。ESI表示，此系統創新的結構可處理由最新DRAM及NAND型快閃記憶體的微小金屬連線，只需要一半的時間來進行整片晶圓的加工。9850是設計專為高產量、自動化300mm的生產環境中所使用。另外，軟體也可使雙光束製程為了最大產量的優勢，而自動地達到最佳效果。 ESI半導體事業群主管Paul Kirby表示，「透過9850，我們的客戶能夠加速生產他們的1Gb DRAM，以及2與4Gb NAND型快閃記憶體的應用。然而，這只是測定我們這項新結構中許多應用的第一步－我們將會更進一步的開發此平台。經由此項雙光束的方式，用於其它波長以及其他類型的雷射來獲取顯著的利潤。」SST-AP/Taiwan