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濕式化學分析

日期：2006/10/31 來源：半導體科技

WetSpec 200是一台線上可即時監控濕式製程中液體化學濃度的濕式化學分析系統。此系統8個以上的管線並行測量不同的化學成份。且每個管線中分析不同化學物質之軟體可相互進行置換，並可彈性地適用於化學計量分析方法。典型的應用包括SC1、SC2、DSP、HF/HCI、ST和EKC等。

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