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   日期：2006/10/31   來源：半導體科技    

新型IntelliGen微分配系統以二階段分配技術為其特色進行系統應用的更新與修改，在於最大限度及最少缺陷的情況下使過濾分配能於獨立比率下進行，並且能夠使用10毫米甚至於更小的過濾孔洞。此系統利用供應速率的控制和即時壓力控制使過濾器的性能得以最佳化，且即使於最敏感的光化學系統下，亦能避免微小氣泡的生成；此外，利用閉環控制的無刷式直流馬達傳送，其分配比率降低至0.1毫升/秒。

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