蒸汽淨化傳送系統
Intaeger系統乃藉由製程控制來煮沸去離子水以產生超高純度之水蒸汽，並可去除液相中污染物，如溶解於液中的氣體；此外，可去除金屬雜質來源並降低微粒子產生。RASIRC公司聲稱，純度相當或甚至優於藉由燃燒氧氣和氫氣方式所產生之蒸汽。本系統可直接自動化控制傳送壓力、溫度和相關的質流比率，液體高度之監控與裝填亦可以自動或手動方式進行，精密溫度控制迴路可於短時間產生超高功率之水蒸汽，而系統具有淨化及液體釋出之能力，且淨化器可被放置於從蒸汽產生器的另一遠處端，以便於保留製程設備的四周空間。
RASIRC Inc.
電話：858/259-1220
網址：www.rasirc.com