硬碟機、磁電阻式隨機存取記憶體之度量系統
MRW3為第三代磁性度量系統，它能測量硬碟機(HDD)讀寫頭及磁電阻式隨機存取記憶體(MRAM)晶圓片之磁性質，藉由此特性可有效進行生產控制並即早偵測出不利於良率之製程問題。MRW3採用封閉式環磁系統，具有絕佳的磁場重複性(低於0.1厄斯特)，且每個電阻/磁場轉換曲線比低於1秒。此系統特色包括GEM/SECS生產自動化、1,000小時MTBF的高可靠性與200及300毫米雙重配置系統。
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