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重複步進式微影系統

日期：2006/10/31 來源：半導體科技

JBX-6300FS為一點狀能量束之重複步進式微影系統，它可於晶圓上進行直寫圖樣而具有高產能之特性，最小線寬可降至8奈米，而系統藉由零組件的搭配可適用於2至8吋的晶圓。於真空狀態下可利用自動化上機系統於無人操作下連續運作10卡匣晶圓片。此公司宣稱系統不僅價格低廉且可替代典型的浸潤式微影機台。

JEOL USA Inc.
電話：978/535-5900
網址：www.jeol.com

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