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2D、3D X-射線偵測系統

   日期:2006/10/31   來源:半導體科技    

Cougar-SMT X-射線檢驗系統可以2D或3D成像方式呈現樣品之構成要素,特別適用於高放大倍率需求之樣品檢測應用上,例如:微機電系統/微光電機械系統、半導體封裝測試及高密度金屬內連線架構等研究。
此系統包含一根具高電壓160千伏特之微聚焦式X射線管、16位元的即時電腦連線之影像處理裝置、數位化平面控制偵測器及電腦加速斷層重建與影像化處理系統。此外,其系統可提供的辨識特徵訊號最小為1微米,全面放大之倍數可高達10,000倍。組合式模組包括BGA模件的堆積、額外可附加的防止突然停機之計算模組裝置及更精密之控制系統。

Comet North America Inc.
電話:203/969-2161
網址:www.cometna.com
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