原罩檢驗系統
ES-240自動檢驗系統可用來檢驗原罩、面板、彩色濾光片與進行晶圓後段製程中切割前後的檢測。特色計有批量式載入、穿透式或反射式、暗場或亮場的多重照明模式，樣品大小範圍10毫米 x 10毫米 至250毫米 x 250毫米。另外有許多檢驗演算法、精密度量、圖樣檢測與缺陷偵測。此系統可以偵測圖樣缺陷、表面顆粒、陷入、刮痕、沾污等，大小從0.5微米 到 >100 微米。
Eutecnics, Acton, MA
電話：ph 978/263-9998
網址：www.eutecnics.com