碳化矽單晶晶圓
PureBeta-S產品融合了高純度碳化矽粉體技術、晶體成長方法與精密加工技術，生產高品質、優越性能的碳化矽單晶晶圓，供給高功率、高頻元件與光電元件所使用。PureBeta-S的超高純度碳化矽燒結產品也可用做擋空晶圓(50-300 mm)，加熱器相關產品，乾蝕刻、離子植入、化學氣相沉積、清洗、檢測等設備的零件。該產品的密度為3.15g/cm3，彎曲強度為600MPa，彈性為390GPa。由於原料是高純度的碳化矽，PureBeta在重複使用後不會有變形和污染的問題。
Bridgestone, Advanced Materials Division, Tokyo, Japan;
電話：81/42-342-6486
網址：www.purebeta.com