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高度平整的陶瓷真空晶圓吸盤

   日期:2006/8/8   來源:半導體科技    

這些極平、高純度陶瓷真空吸盤的堅硬程度是玻璃或金屬替代品的三至五倍。該公司其他可用的材料包括UltraSiC(碳化矽)、PureSiC(CVD碳化矽)、PlasmaPure(氧化鋁)、StatSafe(ESD,(electrostatic discharge)氧化鋁),而吸盤產品的特點是耐腐蝕、低熱膨脹、高熱傳導。此外,有一系列配合特殊顧客需求的表面輪廓設計,例如能夠做到特殊的微凸點。該公司開創了以複雜的三維方法來繪製表面平坦度,尤其對特別大的元件有不錯的效果,因為可以校準所欲控制的縱深標準。

CoorsTek Inc.,
電話:303/271-7000
網址:www.coorstek.com
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