套裝軟體使設計模擬與分析成為可能
套裝軟體使設計模擬與分析成為可能
Virtuoso resolution enhancement technology (RET) suite公司直接整合微影知識到先前釋出的客戶式積體電路設計環境平台-Virtuoso custom design platform。針對次90奈米製造技術的設計者可據以創作佈局設計，不僅可緩和造成產率劣化之關鍵微影步驟的影響，同時也能容忍一般的微影製程變異。此一套裝軟體容許設計者分析並最佳化設計圖樣，同時考慮性能與產率，藉由模擬次波長微影時，先天具有的圖樣失真，來診斷標的佈局結構於矽晶圓上將會如何顯現。軟體中也包括了基於互動式模型的佈局設計模擬；批次與互動式微影法則檢查；微影-產率分析與最適化；具有利用臨界微影參數，如照明模式、曝光與焦距的試驗性的光學近階效應修正能力。Virtuoso RET Suite提供了相同直觀的使用者介面，且用了Virtuoso的客戶設計平台模型。
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