可輸送高達2000 sccm氬氣的渦輪泵
阿爾卡特公司產品型號ATH2300M的高流量磁浮式渦輪泵，設計用於半導體蝕刻製程，具有高達2000升/秒的性能，且能在次90奈米製程應用中可輸送高達2000sccm的氬氣。其具有五個運動軸，一個用來補償任何旋轉翼不平衡的自動平衡系統，達75oC的整合加熱系統來消除副產物的凝結，和可以避免微粒積存的鈍氣噴洗。此渦輪泵免維護、免電池，並可以適用於金屬、介電材料、或複晶矽的蝕刻、離子植入、濺鍍與電漿沈積。
Alcatel Vacuum Technology France,
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