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真空技術研討會 |
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「真空技術」在現今進步的科技時代中被廣泛地利用在日常生活中,包括食物的包裝、冷凍、醫藥製造、電視/電腦的影像管、液晶、積體電路(IC)、金屬材料、裝飾品薄膜/製程等等,無一不使用到此種技術。進而在國防工業、航太科技、微波通訊、原子融合等領域中,它也給人類及地球帶來節省能源、減少污染等利益。真空系統在高科技產業的製程技術中,扮演著提供製程環境的基礎要素,舉凡半導體與光電產業的主要相關製程如薄膜沉積、蝕刻與離子值入,以及化工、食品、製藥等產業,都需要應用真空的系統技術。《半導體科技》特邀請國家同步輻射中心及業界領導廠商共同參與發表精彩演說,歡迎您蒞臨指教。 |
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■ 活動時間:2008年8月21號 (四)
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■ 活動地點:新竹國賓大飯店 |
■ 洽詢專線:楊小姐;電話:886-2-2396-5128 ext.246;Email:cindy@arco.com.tw |
■ 參加人數:150人(座位有限,請及早報名,額滿為止) |
■ 費 用:免費 |
■ 報名方式:線上報名 報名日期自即日起至8月20日止。8月14日開始寄送確認信函及報到編號。 |
■ 詳細資訊:半導體科技系列研討會網站
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| ■ 平台提供:線上空間股份有限公司 |
■ 注意事項:
- 線上報名 報名日期自即日起至8月20日止。8月14日開始寄送確認信函及報到編號。
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時程表Timetable |
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主題 Agenda |
講師 Speaker |
| 13:00 - 13:30 |
Registration + Opening Remarks |
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| 13:30 - 14:10 |
專題演講(I) Keynote(I)
台灣光子源同步加速器真空系統設計與研究 |
熊高鈺 Gao-Yu Hsiung
真空小組 小組長/副研究員 Vacuum Group Leader/ Associate Scientist
國家同步輻射中心
National Synchroton Radiation Research Center |
| 14:10 - 14:50 |
演講 (I) Speech(I) 真空技術在產業的應用與發展
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余建志
研發中心 處長
日揚科技
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| 14:50 - 15:10 |
休息Break |
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| 15:10 - 15:50 |
演講 (II) Speech(II)
Residual Gas Analyzer for Process Monitoring and Control on Vacuum systems |

MKS 萬機科技 |
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贊助廠商 |



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