真空研討會

　　「真空技術」在現今進步的科技時代中被廣泛地利用在日常生活中，包括食物的包裝、冷凍、醫藥製造、電視/電腦的影像管、液晶、積體電路(IC)、金屬材料、裝飾品薄膜/製程等等，無一不使用到此種技術。進而在國防工業、航太科技、微波通訊、原子融合等領域中，它也給人類及地球帶來節省能源、減少污染等利益。真空系統在高科技產業的製程技術中，扮演著提供製程環境的基礎要素，舉凡半導體與光電產業的主要相關製程如薄膜沉積、蝕刻與離子值入，以及化工、食品、製藥等產業，都需要應用真空的系統技術。

繼四月的微影主題後，《半導體科技》十週年系列研討會再度以「真空技術」為主題，邀請相關設備及材料廠商齊聚一堂，共同探討在半導體製程中不可或缺的真空技術。

■ 活動時間：2007年5月22日（二）

■ 活動地點：新竹國賓大飯店

■ 洽詢專線：楊小姐；電話：886-2-2396-5128 ext.246；Email：cindy@arco.com.tw

■ 參加人數：150人（座位有限，請及早報名，額滿為止）

■ 費　　用：免費

■ 報名方式：線上報名

■ 詳細資訊：半導體科技系列研討會網站

■ 平台提供：線上空間股份有限公司

■ 注意事項：

報名日期自即日起至5月18日止。5月21日將寄送確認信及報到編號。
若因不可預測之突發因素，主辦單位得保留本研討會課程及講師之變更權利。
最新消息以網站更新及主辦單位公告為準。

《半導體科技》系列研討會排程表

時間Time	主題Agenda	講師Speaker
13：00 - 13：20	報到登記Registration
13：20 - 13：25	歡迎詞Opening Remarks
13：35 - 14：05	專題演講(I)Keynote(I) 超高真空系統設計的關鍵思維 Critical Thinking of Design for an Ultrahigh Vacuum System	熊高鈺 Gao-Yu Hsiung 國家同步輻射中心 National Synchroton Radiation Research Center 真空小組小組長／副研究員 Vacuum Group Leader/ Associate Scientist
14：05 – 14：55	演講 (I)Speech(I) 乾式螺旋真空泵浦技術發展	方宏聲真空技術部經理
14：55 – 15：10	休息Break
15：10 – 16：00	演講 (II)Speech(II) Vacuum Chamber Condition Monitoring -- an approach to predictive vacuum maintenance	Dr. Jack Huang 黃志鵬 Project Manager 專案經理
16：00 – 16：50	演講 (III)Speech(III) 測漏技術的介紹與應用 Introduction and application of Leak Detection Technology	魏芝中真空事業部經理
16：50 – 17：00	Lucky Draw

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